检验方法

检验器具

检验频度

测量标定板对角线编码点的圆心距离

光学三坐标测量机

一年一次

检验方法

检验器具

检验频度

在气浮导轨平台上粘贴靶标点或散斑图案，将气浮导轨移动一个位移值，将本设备的测量结果与激光干涉仪的测量结果进行对比，偏差在0.01mm以内。

激光干涉仪及气浮导轨平台

一年一次

检验方法

检验器具

检验频度

将设备架设到合适的测量距离，将卷尺放置于视野内，量取视野X方向、Y方向长度。

卷尺或钢尺

设备固有属性，检验一次即可。

检验方法

检验器具

检验频度

采用直线导轨进行检验，在直线导轨端面粘贴靶标点或散斑图案，将端面正对相机沿Z向移动一定的位移，观测移动过程中散斑图像的清晰度，并将本设备计算的Z向位移与卷尺量取的导轨移动位移进行对比。

直线导轨、卷尺

检验一次即可，或每次调整过相机、镜头后检验一次。

检验方法

检验器具

检验频度

按标定步骤进行相机标定，标定误差在0.05像素以内表示合格

无

若相机相对位置不变，一天一次；若相机相对位置变动或调节过镜头焦距光圈或更换镜头，立即标定检验。

检验方法

检验器具

检验频度

分析样品镜头位移跳动数据，全场位移静态跳动值在0.01mm以内。

无

每标定一次，检验一次

检验方法

检验器具

检验频度

检验计算结果的sigma值，sigma值在0.05像素以内表示合格

无

每组实验检验一次

检验方法

检验器具

检验频度

将引伸计标定仪或高精度位移计移动一个位移值，作为真值，本设备测量结果与真值进行比较。

引伸计标定仪或高精度位移计

每半年检验一次或对数据存疑时立即检验。